ICS17.100 N11 中华人民共和国国家标准 GB/T28854—2012 硅 电容式压力传感器 Siliconcapacitivepressuresensor 2012-11-05发布 2013-02-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 分类与命名 2 ……………………………………………………………………………………………… 4.1 分类 2 ………………………………………………………………………………………………… 4.2 命名 2 ………………………………………………………………………………………………… 5 基本参数 2 ………………………………………………………………………………………………… 5.1 测量范围(量程) 2 …………………………………………………………………………………… 5.2 工作压力 2 …………………………………………………………………………………………… 5.3 工作温度范围 3 ……………………………………………………………………………………… 6 要求 3 ……………………………………………………………………………………………………… 6.1 产品技术条件(详细规范) 3 ………………………………………………………………………… 6.2 基本性能 3 …………………………………………………………………………………………… 6.3 静态性能 4 …………………………………………………………………………………………… 6.4 稳定性 5 ……………………………………………………………………………………………… 6.5 温度影响 5 …………………………………………………………………………………………… 6.6 过载(适用时) 5 ……………………………………………………………………………………… 6.7 静压 6 ………………………………………………………………………………………………… 6.8 环境性能 6 …………………………………………………………………………………………… 6.9 疲劳寿命(适用时) 6 ………………………………………………………………………………… 7 试验方法 7 ………………………………………………………………………………………………… 7.1 环境条件 7 …………………………………………………………………………………………… 7.2 试验前准备 7 ………………………………………………………………………………………… 7.3 基本性能 7 …………………………………………………………………………………………… 7.4 静态性能 8 …………………………………………………………………………………………… 7.5 稳定性 10 ……………………………………………………………………………………………… 7.6 温度影响 10 …………………………………………………………………………………………… 7.7 过载 10 ………………………………………………………………………………………………… 7.8 静压 10 ………………………………………………………………………………………………… 7.9 环境性能 11 …………………………………………………………………………………………… 7.10 疲劳寿命 13 ………………………………………………………………………………………… 8 检验规则 13 ………………………………………………………………………………………………… 8.1 检验分类 13 …………………………………………………………………………………………… 8.2 出厂检验 13 …………………………………………………………………………………………… 8.3 型式检验 14 …………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T28854—2012 9 标志、包装、运输及贮存 15 ………………………………………………………………………………… 9.1 产品标志 15 …………………………………………………………………………………………… 9.2 包装 15 ………………………………………………………………………………………………… 9.3 运输 16 ………………………………………………………………………………………………… 9.4 贮存 16 ………………………………………………………………………………………………… 附录A(规范性附录) 传感器性能指标的计算方法 17 …………………………………………………… A.1 实际工作特性 17 …………………………………………………………………………………… A.2 参比工作直线 17 …………………………………………………………………………………… A.3 满量程输出(YFS) 18 ………………………………………………………………………………… A.4 非线性(ξL) 19 ……………………………………………………………………………………… A.5 迟滞(ξH) 19 ………………………………………………………………………………………… A.6 重复性(ξR) 19 ……………………………………………………………………………………… A.7 准确度(ξ) 20 ………………………………………………………………………………………… A.8 零点漂移(dz) 21 …………………………………………………………………………………… A.9 零点长期稳定性(rz) 22 …………………………………………………………………………… A.10 满量程输出漂移(rF) 22 …………………………………………………………………………… A.11 热零点漂移(α) 22 ………………………………………………………………………………… A.12 热满量程输出漂移(β) 22 ………………………………………………………………………… A.13 振动对传感器零点影响(Z0) 23 …………………………………………………………………… ⅡGB/T28854—2012 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由中国机械工业联合会归口。 本标准起草单位:沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督 检验中心、浙江中控仪表有限公司、吉林化工集团仪表有限责任公司、中国仪器仪表协会传感器分会、中 国仪器仪表学会仪表元件分会。 本标准主要起草人:张治国、刘沁、李颖、匡石、徐秋玲、于振毅、丁云、卢宏、刘剑、张娜、刘波、殷波。 ⅢGB/T28854—2012 硅电容式压力传感器 1 范围 本标准规定了硅电容式压力传感器的术语和定义、分类与命名、基本参数、要求、试验方法、检验规 则及标志、包装、运输及贮存。 本标准适用于硅电容式压力传感器(以下简称传感器)。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T191—2008 包装储运图示标志 GB/T2423.1—2008 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验A:低温 GB/T2423.2—2008 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验B:高温 GB/T2423.3—2006 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验Cab:恒定湿热试验 GB/T2423.5—1995 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验Ea和导则:冲击 GB/T2423.10—2008 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验Fc:振动(正弦) GB/T2423.22—2002 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验N:温度变化 GB/T2829—2002 周期检查计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验) GB/T7665—2005 传感器通用术语 GB/T7666—2005 传感器命名法及代码 GB/T14479 传感器图用图形符号 GB/T17626.1—2006 电磁兼容 试验和测量技术 抗扰度试验总论 3 术语和定义 GB/T7665—2005界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 基础电容 basecapacitance 正负压腔通大气(表压、差压型)或输入为零压(绝压型)时传感器单个电容的输出电容值。 3.2 电容偏差 capacitancedeviation 差动电容式传感器两个基础电容的差值。 3.3 电容增量比 capacitanceincreasingamountratio 传感器承受满量程压力时,因压力增加而产生的电容增量的绝对值与其基础电容值的比。 1GB/T28854—2012 4 分类与命名 4.