书 书 书犐犆犛 ７１ ． １００ ． ２０ 犌 ８６ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 １６９４５ — ２００９ 代替 ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 电子工业用气体 　 氩 犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔 — 犃狉犵狅狀 ２００９  １０  ３０ 发布 ２０１０  ０５  ０１ 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书前 　　 言 　　 本标准代替 ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 《 电子工业用气体 　 氩 》。 本标准与 ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 相比主要变化如下 ： ——— 修改氩的适用范围 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 的第 １ 章 ， 本版的第 １ 章 ）； ——— 增加规范性引用文件 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 的第 ２ 章 ， 本版的第 ２ 章 ）； ——— 修改技术指标内容 ： 增加一类纯度和杂质含量 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 的第 ３ 章 ， 本版的第 ３ 章 ）； ——— 修改瓶装氩抽样方法 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 的 ４．１．１ ， 本版的 ４．１．１ ）； ——— 增加集装阁装 、 大容积钢质无缝气瓶和杜瓦罐装氩产品并规定检验方法 （ 见 ４．１．１ ）； ——— 修改管道输送的氩抽样方法 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 的 ４．１．１ ， 本版的 ４．１．２ ）； ——— 增加氩的采样安全要求 （ 见 ４．１．３ ）； ——— 修改氢 、 氧 、 氮 、 一氧化碳和二氧化碳的测定方法 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 的 ４．３ 、 ４．４ 、 ４．５ ， 本版的 ４．３ ）； ——— 增加其他方法测定总烃 ； 当出现多种分析方法时 ， 增加规定仲裁方法 （ 见 ４．３ 、 ４．４ 、 ４．５ ）； ——— 修改水分的测定方法 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 的 ４．７ ， 本版的 ４．５ ）； ——— 修改标志 、 包装 、 贮运及安全 （ ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 的第 ５ 章 ， 本版的第 ５ 章 ）。 本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出 。 本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口 。 本标准起草单位 ： 北京氦普北分气体工业有限公司 、 西南化工研究设计院 。 本标准主要起草人 ： 赵俊秀 、 周鹏云 。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为 ： ——— ＧＢ ／ Ｔ１６９４５ — １９９７ 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 １６９４５ — ２００９ 电子工业用气体 　 氩 １ 　 范围 本标准规定了氩的技术要求 ， 试验方法以及包装 、 标志 、 贮运及安全 。 本标准适用于以深冷法从空气 、 合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩 。 氩用于系统的吹扫 、 保护和增压 ， 它还可以用于化学汽相淀积 、 溅射 、 等离子及活性离子刻蚀剂和退 火等不同工艺中 。 分子式 ： Ａｒ 。 相对分子质量 ： ３９．９４８ （ 按 ２００５ 年国际相对原子质量 ）。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 。 凡是注日期的引用文件 ， 其随后所有 的修改单 （ 不包括勘误的内容 ） 或修订版均不适用于本标准 ， 然而 ， 鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本 。 凡是不注日期的引用文件 ， 其最新版本适用于本标准 。 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 　 工业用化学产品采样安全通则 ＧＢ ／ Ｔ４８４２ — ２００６ 　 氩 ＧＢ ／ Ｔ５８３２．１ 　 气体中湿度的测定 　 电解法 ＧＢ ／ Ｔ８９８４ 　 气体中一氧化碳 、 二氧化碳和碳氢化合物的测定 　 气相色谱法 ３ 　 技术要求 ３ ． １ 　 电子工业用气体氩的质量应符合表 １ 的要求 。 表 １ 　 技术指标 项 　　　 目 指 　　　 标 氩气 （ Ａｒ ） 纯度 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≥ ９９．９９９９ ９９．９９９２ 氢 （ Ｈ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．１ １ 氮 （ Ｎ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．５ ５ 氧 （ Ｏ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．２ ０．５ 一氧化碳 （ ＣＯ ） 和二氧化碳 （ ＣＯ ２ ） 总含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ 一氧化碳 ： ０．１ 二氧化碳 ： ０．１ ０．５ 总烃 （ 以甲烷计 ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．１ ０．５ 水分 （ Ｈ ２ Ｏ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．２ ０．５ 杂质总含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ １ ８ 颗粒 供需双方商定 供需双方商定 ３ ． ２ 　 液态氩的水分应气化后测定 。 ４ 　 试验方法 ４ ． １ 　 抽样 、 判定和复验 ４ ． １ ． １ 　 瓶装 、 集装阁装 、 大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氩产品应逐一检验并验收 。 当检验结果有 １ 犌犅 ／ 犜 １６９４５ — ２００９ 任何一项指标不符合本标准技术要求时 ， 则判该产品不合格 。 生产企业应确保每一包装氩产品符合本 标准技术要求 。 ４ ． １ ． ２ 　 对稳定生产的管道输送的气态氩由供需双方确定抽样方案 。 企业应确保管道输送的氩产品符 合本标准技术要求 。 ４ ． １ ． ３ 　 氩采样安全应符合 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 的相关规定 。 ４ ． ２ 　 氩纯度 氩纯度按式 （ １ ） 计算 ：  ＝ １００ － （  １ ＋  ２ ＋  ３ ＋  ４ ＋  ５ ＋  ６ ） × １０ － ４ …………………（ １ ） 　　 式中 ：  ——— 氩纯度 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ；  １ ——— 氢含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ；  ２ ——— 氮含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ；  ３ ——— 氧含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ；  ４ ——— 一氧化碳 ＋ 二氧化碳含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ；  ５ ——— 总烃 （ 以甲烷计 ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ；  ６ ——— 水分含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ 。 ４ ． ３ 　 氢 、 氧 、 氮 、 一氧化碳和二氧化碳含量的测定 氢 、 氧 、 氮 、 一氧化碳和二氧化碳的测定方法按 ＧＢ ／ Ｔ４８４２ — ２００６ 中 ４．３ 的规定 。 仪器检测限 ： ０．０５×１０ －６ （ 体积分数 ）。 ４ ． ４ 　 总烃 （ 以甲烷计 ） 含量的测定 按 ＧＢ ／ Ｔ８９８４ 规定的方法或其他等效的方法测定氩中的微量总烃含量 。 当以上测定结果有异议 时 ， 以 ＧＢ ／ Ｔ８９８４ 规定的方法为仲裁方法 。 仪器检测限 ： ０．０５×１０ －６ （ 体积分数 ）。 ４ ． ５ 　 气体标准样品 气体标准样品中的组分含量为 （ １ ～ ５ ） ×１０ －６ （ 体积分数 ）， 平衡气为氩 。 ４ ． ６ 　 水分含量的测定 按 ＧＢ ／ Ｔ５８３２．１ 执行 。 仪器检测限 ： ０．０５×１０ －６ （ 体积分数 ）。 允许采用其他等效的方法测定氩中水分含量 。 当测定结果有异议时 ， 以 ＧＢ ／ Ｔ５８３２．１ 规定的方法 为仲裁方法 。 ５ 　 标志 、 包装 、 贮运及安全 ５ ． １ 　 推荐使用进行内表面处理的气瓶 ， 气瓶内表面应满足本标准对于水分和颗粒的要求 。 ５ ． ２ 　 包装容器上应标明 “ 电子氩 ” 字样 。 ５ ． ３ 　 其余按 ＧＢ ／ Ｔ４８４２ — ２００６ 中第 ５ 章的规定 。 ２ 犌犅 ／ 犜 １６９４５ — ２００９